上光六廠三目金相顯微鏡102XB
產(chǎn)品說明
102XB工業(yè)金相顯微鏡是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開發(fā)的。作為高級(jí)金相顯微鏡用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其超強(qiáng)性能，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)，可觀察較厚的標(biāo)本
技術(shù)參數(shù)
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)光學(xué)校正系統(tǒng) | ||||||
觀察方法 | 目鏡筒 | 三目鏡筒/標(biāo)準(zhǔn)C口 | |||||
光學(xué)方式 | 透射、反射、偏光、暗場(chǎng) | ||||||
目鏡參數(shù) | 倍率 | 10X（標(biāo)） | 16X（選） | ||||
視場(chǎng)范圍（mm） | 25 | 11 | |||||
長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 | 倍率 | 5X | 10X | 20X | 40X | 50X | 100X(選) |
數(shù)值孔徑NA | 0.10 | 0.25 | 0.40 | 0.60 | 0.55 | 0.8 | |
工作距離（mm） | 29.4 | 16 | 10.6 | 5.4 | 5.1 | 3 | |
物鏡轉(zhuǎn)換 | 五孔轉(zhuǎn)換器 | ||||||
載物工作臺(tái) | 1.雙層移動(dòng)平臺(tái) 2.臺(tái)平臺(tái)尺寸：192×141mm 3.移動(dòng)范圍：50×40mm | ||||||
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 調(diào)焦粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦； 采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，微動(dòng)格值0.002 mm | ||||||
照明裝置 | 帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄，鹵素?zé)?2V/50W, AC85V-230V，亮度可調(diào)節(jié) | ||||||
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、 檢偏鏡均可移出光路 | ||||||